特種氣體的純度越高，性能越好，那么如何提高純度呢?影響特種氣體純度提高的因素有哪些?今天小編給大家講講。

特種氣體提純是制備工藝的核心技術(shù)壁壘。特種氣體純度的提高，能夠有效提高電子器件生產(chǎn)的良率和性能。電子特氣純度提升的影響因素較多，難度較大。電子特氣純度提升的影響因素較多，主要包括三個(gè)方面：

1)氣體的分離和提純。

電子特氣的分離和提純方法原理上可分為精餾分離、分子篩吸附分離以及膜分離三大類，在實(shí)際提純分離過程中，為了達(dá)到更好的分離效率，往往會(huì)利用多種分離方法進(jìn)行組合，工藝更為復(fù)雜。

2)氣體雜質(zhì)檢測和監(jiān)控。

隨著電子特氣的純度越來越高，對(duì)分析檢測方法和儀器提出了更高的要求，檢測限從.早的ppm級(jí)已經(jīng)發(fā)展到ppt級(jí)。目前國外電子氣體的分析己經(jīng)經(jīng)歷了離線分析、在線分析(on-line)，原位分析(insitu)等幾個(gè)階段。對(duì)于高純度電子氣體的分析，國外已開發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測試方法和現(xiàn)場分析儀器。而由于我國電子特氣行業(yè)一直重生產(chǎn)而輕檢測，因此分析方法和分析儀器同國外廠商相比都比較落后。

3)氣體的運(yùn)輸和儲(chǔ)存。

高純電子特氣得來不易，在儲(chǔ)存和運(yùn)輸過程中要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲(chǔ)運(yùn)容器、以及相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口，確保避免二次污染。而我國加工工藝整體落后以及不符合國際規(guī)范，市場主要被國外公司占據(jù)。國內(nèi)電子特氣純度仍有待提升。目前國外電子特氣的純度一般在6個(gè)“9”(即99.9999%)，而國內(nèi)多在4—5個(gè)“9”之間，少數(shù)能達(dá)到6個(gè)“9”。

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