有源向量塑料薄膜三極管（TFT）顯示器在二十世紀九十年代剛開始民用型至今，它已變成當代衣食住行必不可少的構成，其運用遠不僅限于電視和智能機，它還存有于人們生活起居中的關鍵通訊和信息內容專用工具：腕表（智能穿戴設備）、家用電器、廣告詞、標識牌、小車等。文中關鍵探討顯示信息生產制造加工工藝塊所必須的特種氣體，并對各種各樣汽體供貨方式做好具體描述。

  TFT顯示器生產制造與集成電路工藝生產制造層面有許多共同之處，例如：這二種生產制造全過程上都必須應用很多汽體、例如加工工藝流程中的堆積、刻蝕、清理和夾雜，也有別的流程應用的汽體種類也都較為類似。

  顯示系統(tǒng)層次

  現(xiàn)階段銷售市場上帶二種顯示器：有源向量液晶顯示器（AMLCD）和AMOLED。AMLCD和AMOLED的顯示器基礎構件同樣。顯示系統(tǒng)有4層：濾色層、塑料薄膜三極管電源開關層（汽體適用于這一層）、用以操縱色調挑選的快門速度層、RGB（紅綠藍）色調過濾裝置。

  有關側板/TFT

  顯示器選用的塑料薄膜三極管為2D漸變色型三極管，類似FinFET以前的大宗商品CMOS。有源向量顯示器每一清晰度有一個三極管，驅動器三極管內的一種RGB色調。隨之顯示器像素提升，三極管縮小，但不容易變小到半導體設備的亞μm級規(guī)格。比如，屏幕像素密度為325PPI的智能手環(huán)，其三極管尺寸約為2mm2，而80 PPI屏幕像素密度的4K電視機，三極管尺寸約為8mm2。

  優(yōu)質氮氣

  側板種類

  顯示器的塑料薄膜三極管機器設備關鍵有三種：非晶硅（a-Si）、超低溫光伏電池（LTPS）和氫氧化物（MO），也稱之為全透明非晶金屬氧化物半導體材料（TAOS）。AMLCD控制面板應用a-Si一般是用以低分辨率顯示器和電視，而高像素顯示器選用LTPS三極管，但是因為成本費較高、擴展性受到限制，一般用以大中小型顯示器。AMOLED控制面板應用LTPS和MO三極管，在其中MO機器設備一般用以電視和大中型顯示器。工業(yè)氫氣

  汽體的應用方法

  因為技術性變化，對比AMLCD控制面板，出產AMOLED控制面板需要應用的汽體還要產生變化。如圖示，現(xiàn)階段出產顯示器時選用多種多樣汽體。

  這種汽體可分成兩大類：電子器件特種氣體（ESG）和電子器件大宗商品汽體（EBG）。電子器件特種氣體包含硅烷、三氟化氮、氟（當場造成）、六氟化硫、二氧化氮及其磷化氫化合物，占顯示器生產制造中應用汽體的52％，而電子器件大宗商品汽體包含N2、氡氣、氦氣、co2、二氧化碳和氬氣，占顯示器生產制造中應用汽體的48％。

  混合氣

  技術性發(fā)展趨勢

  TFT-LCD（塑料薄膜三極管液晶顯示器）是一種基本技術性。大屏使用MO/白色OLED（有機發(fā)光二極管）。中小屏使用LTPS / AMOLED。OLED面臨的難點是<1微米粒子對產率的影響，此外由于掩碼步驟增加，其成本遠高于非晶硅（a-Si）。此外，OLED步驟中水分對生產良率具有影響。工業(yè)氣體

  遷移率極限是改用MO和LTPS的主要原因之一，其目的是通過更高的分辨率，實現(xiàn)更好的觀看體驗等。

  MO面臨的挑戰(zhàn)在于OLED步驟后，如何避免IGZO金屬化/潮濕造成的氧化，后者將導致產率下降。制造過程中需使用大量的N2O（氧化亞氮），這意味著可能需要考慮改變傳統(tǒng)供應模式。

  雖然AMLCD顯示屏目前仍是市場主流，但AMOLED顯示屏增長迅速。目前約有25%的智能手機采用AMOLED顯示屏，預計這一比例到2021年將達到約40%。OLED電視同樣增長迅速，同比增長率達到兩位數(shù)。根據(jù)IHS數(shù)據(jù)，在未來5年，AMOLED顯示屏面板的收入預計年均復合增長率（CAGR）將達到18.9%，而AMLCD顯示屏的收入同期CAGR為2.8%，所有顯示屏總收入同期CAGR為2.5%。隨著AMOLED顯示屏快速增長，顯示屏制造商加快了AMOLED制造設備的投資。